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                      1200℃雙管CVD系統

                      1200℃雙管CVD系統

                      1200℃雙管CVD系統

                      1200℃雙管CVD系統是一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子可以實現物料的快速加熱和冷卻

                      產品概述:
                      該系統是 一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子可以實現物料的快速加熱和冷卻。

                      技術參數:

                      產品名稱

                      1200℃雙管CVD系統

                      第一部分: 1200℃雙管CVD系統

                      產品型號

                      PT-1200T

                      爐管尺寸

                      雙石英管

                      外管:OD 100 x ID 96 x 1400 mm

                      內管:OD 80 x ID 75 x 1800 mm

                      加熱區

                      220+220mm

                      供電電源

                      230V,單相,50HZ

                      功率

                      4.0 kw

                      加熱元件

                      電阻絲

                      升溫速率

                      0-20°C/min

                      熱電偶

                       K型

                      第二部分: 水冷系統

                      法蘭

                      1.水冷機 CW-3000

                      2.水冷,密封雙管的真空法蘭:允許反應氣體通過兩管之間(10mm間隙)發生反應,冷卻氣體直接通入內管.

                      第三部分  真空系統

                      真空系統

                      1. 防腐數顯真空計   

                      2. VRD-16旋片泵,抽速4L/S,含擋板閥 KF25接口,波紋管和箱體

                      第四部分  混氣系統

                      質量流量計

                      量程:

                      MFC 1: 0~10 sccm  

                      MFC 2: 0~200 sccm  

                      MFC 3: 0~10 slm  

                      MFC 3: 0~10 slm  

                      .......

                      雙管CVD系統

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