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                      • 多種國家專利

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                        客戶信賴的品牌

                      高真空PECVD系統

                      高真空PECVD系統

                      高真空PECVD系統

                      諾泰高真空PECVD系統是由管式爐,真空系統、供氣系統、射頻電源系統等組成。系統主要應用于金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜,石墨烯等生長。

                      產品概述:
                         諾泰高真空PECVD系統是由管式爐,真空系統、供氣系統、射頻電源系統等組成。系統主要應用于金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜,石墨烯等生長。PECVD系統增加功能容易,可擴展等離子清洗刻蝕等功能,PECVD系統薄膜沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高等優點。

                      高真空PECVD系統主要特點

                      1.通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。

                      2.PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。

                      3.可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。

                      4.PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。

                      5.廣泛應用于:各種薄膜的生長,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。

                      技術參數:

                      產品名稱

                      高真空PECVD系統

                      滑軌管式爐部分

                      產品型號

                      PT-T1200

                      爐管尺寸

                      Φ50mmX1600mm

                      爐管材質

                      石英管

                      加熱區

                      300mm

                      工作溫度

                      1100℃

                      最高溫度

                      1200℃

                      溫控方式

                      K型熱電偶

                      控制方式

                      觸屏控制,帶獨立搖臂,可以根據實際使用需求,調節溫控屏的角度,使用更方便

                      控溫精度

                      ±1℃

                      溫控保護

                      具有超溫和斷偶保護功能

                      升溫速率

                      0-20ºC/min  ,建議10ºC/min

                      加熱元件

                      含鉬電阻絲

                      工作電壓

                      AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制)

                      加熱功率

                      3KW

                      爐膛材料

                      氧化鋁多晶纖維

                      爐體結構

                      爐體帶滑軌,可實現快速升溫和降溫

                      法蘭接頭

                      標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥

                      密封系統

                      該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好。

                      殼體

                      不銹鋼殼體

                      選配

                      輔助降溫風扇

                                           真空系統部分

                      名稱

                      真空系統

                      主要參數

                      1.采用進口安捷倫高真空分子泵組,極限真空度可達10-3pa

                      2.KF25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連;

                      3.數字式真空顯示,其測量范圍為5×10-5- 1500mbar,測量精度高高

                      氣路系統部分

                      名稱

                      四路質量流量計

                      主要參數

                      四通道精密質量流量計:觸屏控制,數字顯示,自動控制。流量范圍流量范圍:

                      1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可調

                      2.一個混氣罐

                      3.4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側,可手動控制4種氣體;

                      4.進出氣口:3進1出

                      流量控制:手動旋轉式調節

                      連接方式:雙卡套連接

                      等離子電源部分

                      名稱

                      500W等離子電源

                      功率范圍

                      0-500W(連續可調)

                      工作頻率

                      13.56MHZ+0.005%

                      工作模式

                      連續輸出

                      射頻輸出阻抗接口

                      N-type,female(50Ω)

                      功率穩定度

                      ≤2W

                      最大反射功率

                      70W

                      電源保護設置

                      DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護

                      供電電壓/頻率

                      單相交流(187V-253V)50-60HZ

                      冷卻方式

                      風冷

                      整機尺寸

                      88X483X550 MM

                      整機重量

                      13.5KG

                      認證

                      ISO認證、CE認證

                      售后服務

                      質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)

                      高真空pecvd系統
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