• 專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|PECVD系統|氣氛燒結爐

    咨詢電話:180-3717-8440
    真空爐,箱式爐,管式爐,氣氛爐
    咨詢產品
    • 多種國家專利

      研發實力雄厚
    • 定制經驗豐富

      強大的技術團隊
    • 十年業內經驗

      客戶信賴的品牌

    混氣PECVD設備

    混氣PECVD設備

    混氣PECVD設備

    PT-T1200 PECVD 是一種 PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)的管式爐系統,它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴散。

    產品描述:
        PT-T1200 PECVD 是一種 PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)的管式爐系統,它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴散。
     
    產品參數:
     
    型號 PT-T1200 PECVD
    第一部分:標準件
    等離子射頻電源
     
    輸出功率 5 -500W可調,均勻性 ± 1%
    RF頻率 13.56 MHz ±0.005%
    反射功率 最大 200W
    射頻輸出端口 50 Ω,N型
    噪音 <50 dB.
    冷卻 空氣冷卻
    管式爐部分
     
    顯示 LED
    形式 分體式和上部可打開
    連續工作溫度 ≤1100℃
    升溫速率 建議:0~10℃/min(最大20℃/min)
    溫區長度 500mm
    加熱元件 含鉬電阻絲
    熱電偶 K型
    溫度均勻性 ±1℃
    爐管尺寸 200m外徑 X 長度1600mm
    材質:石英管 
    溫度控制 通SCR功率控制進行 PID 自動控制
    加熱曲線 30步可編程
    法蘭 不銹鋼帶閥真空法蘭 
    電壓 380V, 50 Hz, 三相最大 20KW
    真空泵  旋片真空泵
    流量:4L/S
    旋片式真空泵將設計成帶輪的推車。
    質量流量計 三款精密質量流量計:
    MFC 1:氣體流量范圍為 0~100 sccm
    MFC 2:氣體流量范圍為 0~100 sccm
    MFC 3:氣體流量范圍從 0~100 sccm
    (或根據您的要求)
    底殼安裝1個氣體混合罐,底殼左側安裝3個不銹鋼針閥,手動控制3種氣體混合
     
    數字真空計 皮拉尼數字真空計 
    混氣pecvd設備
    上一篇:CVD設備
    我疯狂的挺进她的身体 <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链>